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英?？蹬藢幷婵沼?jì)、潘寧規(guī) INFICON PEG100：

INFICON PEG100潘寧真空計(jì)、中真空至***真空真空計(jì)

INFICON 潘寧PEG100型真空計(jì)提供可靠的高真空測(cè)量。 ***的潘寧冷陰極傳感器不會(huì)出現(xiàn)燈絲燒毀的現(xiàn)象。 由于采用鈦陰極板且等離子點(diǎn)火后高電壓將會(huì)降低，真空計(jì)還可在濺射應(yīng)用環(huán)境下運(yùn)行。 現(xiàn)場(chǎng)總線選件，除了對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)外，允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協(xié)議將真空計(jì)輕松集成到真空系統(tǒng)中。

益處：

• 測(cè)量***，從 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴（7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托）

• 全金屬冷陰極傳感器（潘寧），帶陶瓷饋入裝置

• ***電極幾何形狀提供***的點(diǎn)火屬性

• 等離子點(diǎn)火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險(xiǎn)，即使在有氬氣的濺射運(yùn)行中

• 陽(yáng)極環(huán)和鈦陰極可輕松進(jìn)行清潔或更換

• ***小化真空計(jì)附近的磁場(chǎng)強(qiáng)度

• 用于電源接通和等離子體點(diǎn)火的 LED 指示器

• 對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)

• 現(xiàn)場(chǎng)總線接口（Profibus DP、DeviceNet）允許使用網(wǎng)絡(luò)通信將真空計(jì)輕松集成到真空系統(tǒng)中

典型應(yīng)用：

• 高真空壓力監(jiān)控

• 蒸發(fā)濺射系統(tǒng)

• 高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制