MKS真空1559A00451LG1BV流量計(jì)深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

2）MKS 1559A的流量控制器的接線圖：

轉(zhuǎn)換電纜的接線定義：

     MKS  1559A                                                 Vogtlin GSC

15針2排公頭----------------------------------------------9孔2排的母頭

2腳0-5號(hào)反饋----------------------------------------4腳0-5號(hào)反饋

5腳0V電源接地-------------------------------------------2腳0V電源接地

7腳+15V供電----------------------------------------------3腳+15-24V供電

8腳0-5號(hào)設(shè)定----------------------------------------5腳0-5號(hào)設(shè)定

11，12腳信號(hào)公共端-------------------------------------1腳信號(hào)公共端