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VEECO PN: 1091270-1115-D-M，MKS 1480A-29315，5000SCC

VEECOMOCVD K465i/475i 各種配件，包括MKS 質(zhì)量流量控制器 ，BROOKS質(zhì)量

BROOKS SLA7851D，NH3/80SLM, VEECO PN: 1091270-3003-

VEECO PN: 1111662, SWAGELOK 真空變徑三通，50KF+4MVCR+50KF

VEECO PN: 1091270-2128-D-M MKS P8A 500SCCM H2

VEECO K465i/475i 配件 MKS真空計DMA-28768 1000Torr

VEECO PN：1091270-2005-D-B,BROOKS SLA7850D， N2 5000

VEECO PN:1091270-4104-D-M，MKS PCA-28226,1000Torr

BROOKS SLA7840D，N2/20SLM, VEECO PN: 1091270-5105-D

流量計1091270-3005-D-M, MKS MC20A-27468 220SLM H2

MKS流量計1091270-2008-D-M，1480A-29316 1000sccm N2

VEECO PN：1091270-2021-D-M ， 50000sccm N2, MKS P5A-

氣體流量計VEECO PN: 1091270-1017-D-M MKS 1480A-27122 10

VEECO PN: 1091270-2013-D-M MKS 質(zhì)量流量控制器 5SLM N2

INFICON CDG025D 0.1Torr 1Torr 10Torr 1000Torr 常溫不加